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扩散泵硅油的应用

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扩散泵硅油的性质对扩散泵硅油气性能影响特别大,因而对扩散泵油的基本要求是:

1)扩散泵硅油的分子量要大;

2)为了降低泵的极限压力,要求扩散泵硅油在常温下的饱和蒸汽压要低;

3)为了使泵能在较高的出口压力下工作,要求扩散泵硅油在沸腾温度下的饱和蒸汽压应尽可能大;

4)扩散泵硅油的热稳定性(高温下不易分解)和抗氧化性能(与大气接触时不会因氧化改变扩散泵硅油的性能)要好;凝固点和低温黏度要低;而且还要无毒、耐腐蚀、成本低。

扩散泵硅油的种类和成分对泵的极限压力影响很大,在结构相同的扩散泵硅油中,如果其极限压力只能达到10-5帕;而改用IOTA705硅油,其极限压力能达到10-7帕,极限压力可降低两个数量级。真空系统中被抽气体的分压力也随扩散泵硅油的不同而变化,这就是扩散泵硅油成分所带来的影响。例如,油扩散泵硅油抽气系统中不加特殊措施很难获得较清洁的真空。

扩散泵硅油的饱和蒸气压为了获取高真空,希望扩散泵硅油在常温下有较低的饱和蒸气压。同时又要求泵在较高的出口压力下工作,希望扩散泵硅油在锅炉温度下有较高的饱和蒸气压。因此,最适合扩散泵硅油工作的扩散泵硅油其饱和蒸气压随温度变化的关系曲线的斜度要大。


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