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产品详情
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高纯二氯二氢硅(DCS)

产品描述:

二氯二氢硅包装采用316L不锈钢制作,容积有10L47L二种规格,分别充装10KG40KG产品;阀门为CGA678/CGA636规格,还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口。

 

技术数据表:

气体名称

二氯二氢硅 (SiH2Cl2)

成分或杂质名称

产品指标

纯度

≥99.9%

电阻率

≥400 ohm.cm

其他氯硅烷

≤1000 ppm/w

碳(C)

≤0.03 ppm/w

施主杂质(砷As,磷P

≤0.08 ppb/w

硼(B)

≤0.01 ppb/w

(Fe)

2 ppb/w

镍(Ni)

≤0.2 ppb/w

铬(Cr)

≤2 ppb/w



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