产品描述:
二氯二氢硅包装采用316L不锈钢制作,容积有10L、47L二种规格,分别充装10KG,40KG产品;阀门为CGA678/CGA636规格,还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口。
技术数据表:
气体名称 |
二氯二氢硅 (SiH2Cl2) |
成分或杂质名称 |
产品指标 |
纯度 |
≥99.9% |
电阻率 |
≥400 ohm.cm |
其他氯硅烷 |
≤1000 ppm/w |
碳(C) |
≤0.03 ppm/w |
施主杂质(砷As,磷P) |
≤0.08 ppb/w |
硼(B) |
≤0.01 ppb/w |
铁(Fe) |
<2 ppb/w |
镍(Ni) |
≤0.2 ppb/w |
铬(Cr) |
≤2 ppb/w |