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产品详情
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高纯三氯氢硅(TCS)

产品描述:

三氯氢硅包装采用316L不锈钢制作,容积有45L,250L,900L三种规格,阀门为1/2‘’、1/4‘’VCR接口阀门两种规格,容器可分别充装45KG,250KG,1000KG产品;还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口,包括ISO-TANK.

 

技术数据表:

气体名称

三氯氢硅(SiHCl3

成分或杂质名称

产品指标

纯度

≥99.99%

电阻率

≥1000 ohm.cm

其他氯硅烷

≤100 ppm/w

碳(C)

5 ppb/w

施主杂质(砷As,磷P

≤0.07 ppb/w

硼(B)

≤0.01 ppb/w

(Fe)

≤1 ppb/w

镍(Ni)

≤0.1 ppb/w

铬(Cr)

≤0.1 ppb/w



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