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甲基硅烷(MS)

使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格,阀门为CGA660/CGA350/CGA634,不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。

 

产品指标:

材料级甲基硅烷

气体名称

Methylsilane(CH,SiH,)

成份/杂质名称

产品指标

甲基硅烷

≥99.5 %

不凝气杂质(N,,Oz+Ar,CO,CH)

≤0.2%

硅烷

≤0.2%

氯硅烷

≤0.1%

电子级甲基硅烷

气体名称

Methylsilane(CH3SiH3)

成份/杂质名称

产品指标

SiH3CH3

>99.98%(不含其他甲基硅烷)

N2

≤10ppm/v

Ar+O2

≤2ppm/v

CO2

≤10ppm/v

CH4

≤50ppm/v

SiH4

≤50ppm/v

Other Methylsilanes

≤50ppm/v

Chlorosilanes

≤50ppm/v



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