使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格,阀门为CGA660/CGA350/CGA634,不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标:
材料级甲基硅烷 |
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气体名称 |
Methylsilane(CH,SiH,) |
成份/杂质名称 |
产品指标 |
甲基硅烷 |
≥99.5 % |
不凝气杂质(N,,Oz+Ar,CO,CH) |
≤0.2% |
硅烷 |
≤0.2% |
氯硅烷 |
≤0.1% |
电子级甲基硅烷 |
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气体名称 |
Methylsilane(CH3SiH3) |
成份/杂质名称 |
产品指标 |
SiH3CH3 |
>99.98%(不含其他甲基硅烷) |
N2 |
≤10ppm/v |
Ar+O2 |
≤2ppm/v |
CO2 |
≤10ppm/v |
CH4 |
≤50ppm/v |
SiH4 |
≤50ppm/v |
Other Methylsilanes |
≤50ppm/v |
Chlorosilanes |
≤50ppm/v |